非对称双极脉冲磁控溅射电源

时间：2020-04-29 13:35:45 来源：金创立科技浏览次数：

主要特点：
可单靶或双靶工作，双靶工作时，两个靶的材料和尺寸都可以不同，每个靶的溅射电流可分别设定；单靶工作时也可以减少电荷累积引起的异常放电。适合于镀制碳化物、氧化物、氮化物等膜层，双靶运用可方便控制成分比。
1、DSP数字化控制/精度高/重复性好，配有控制面板和控制程序。
2、具有过流、过热、过压、短路保护。
3、控制方式：恒压、恒流、恒功率
4、冷却方式：风冷；风冷+水冷
5、根据用户要求预留PLC远控接口（远控功能）

主要参数：
空载电压≥800V，工作电压：200-750V
正负极性平均电流独立稳流，稳流精度1%
脉冲频率：5KHZ-40KHZ，连续可调或定频40KHZ
脉冲占空比：10%-80%，连续可调