直流叠加脉冲偏压电源

时间：2020-05-09 11:34:55 来源：金创立科技浏览次数：

主要特点
JCL-ZDPY可方便地在带载情况下通过直流电压和脉冲电压实现直流、单极脉冲和直流叠加脉冲三种偏压模式。配合脉冲频率和占空比调节，可控制成膜温度增加膜基结合力，提高沉积和高品质镀膜系统。
1、DSP数字化控制/精度高/重复性好，配有控制面板和控制程序。
2、具有过流、过热、过压、短路保护。
3、控制方式:恒压、恒流、恒功率。
4、风冷
5、根据用户要求预留光纤通讯接口（远控功能）

主要参数
负脉冲工作电压可分为A、B两档，每一档内的电压连续可调，脉冲上升、下降快，脉冲幅值稳定:
A：100~1000V
B：50~500V
直流电压：20V~200V连续可调、自动稳压、稳压精度1%
脉冲频率：20KHz~40KHz(连续可调或定额)
脉冲占空比：10%~80%（连续可调）

型号	功率	工作电压电流（脉冲）	脉冲频率	占空比	冷却方式	工作电压电流（直流）
ZDPY-5	5kW	100~1000V/4A	20~40kHz连续可调或定频40kHz	10%~80% 连续可调	风冷	20~200V/5A
		50~500V/8A
		25~250A/16A
ZDPY-10	10kW	100~1000V/8A	20~40kHz连续可调或定频40kHz	10%~80% 连续可调	风冷	20~200V/10A
		50~500V/16A
		25~250A/32A
ZDPY-20	20kW	100~1000V/16A	20~40kHz连续可调或定频40kHz	10%~80% 连续可调	水冷	20~200V/20A
		50~500V/32A
		25~250A/64A
ZDPY-30	30kW	100~1000V/24A	20~40kHz连续可调或定频40kHz	10%~80% 连续可调	水冷	20~200V/30A
		50~500V/48A
		25~250A/96A
ZDPY-50	50kW	100~1000V/40A	20~40kHz连续可调或定频40kHz	10%~80% 连续可调	水冷	20~200V/50A
		50~500V/80A
		25~250A/160A
ZDPY-70	70kW	100~1000V/56A	20~40kHz连续可调或定频40kHz	10%~80% 连续可调	水冷	20~200V/70A
		50~500V/112A
		25~250A/224A
ZDPY-100	100kW	100~1000V/80A	20~40kHz连续可调或定频40kHz	10%~80% 连续可调	水冷	20~200V/100A
		50~500V/160A
		25~250A/320A